自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀/橢圓偏振測(cè)厚儀/測(cè)厚儀 型號(hào)：TP-TPY-2 產(chǎn)品特點(diǎn)： 儀器采用消光法自動(dòng)測(cè)量薄膜厚度和折射率，具有精度高、靈敏度高以及自動(dòng)控制等特點(diǎn)。光源采用氦氖激光器，功率穩(wěn)定波長(zhǎng)精度高。 儀器采用USB接口與電腦連接，配套軟件功能齊全，具有多樣數(shù)據(jù)采集及處理方式，適用于不同用戶的需要。 規(guī)格與主要指標(biāo)： 測(cè)量范圍：薄膜厚度范圍1nm-4000nm 折射率范圍：1-10 測(cè)量zui小示值：≤1nm 入射角：20°- 90°精度≤0.05° 度盤刻度：每格1度 允許樣品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm 偏振器步進(jìn)角：0.014°/步 偏振器方位角范圍：0°- 180° 測(cè)量膜厚和折射率重復(fù)性精度分別為：0.5nm和0.005 儀器測(cè)量精度：±0.5nm（薄膜厚度在10-100nm時(shí)） 光學(xué)中心高度：80mm 成套性：主機(jī)、電控系統(tǒng)、USB接口、配套軟件（需配計(jì)算機(jī)） 主機(jī)重量：26kg 外形尺寸：680*390*310mm 裝箱單 序號(hào) | 名 稱 | 規(guī)格或型號(hào) | 數(shù)量 | 備 注 | 1 | 自動(dòng)橢圓偏振測(cè)厚儀主機(jī) | TP-TPY-2 | 1臺(tái) | | 2 | 主機(jī)電控箱 | TP-TPY-2 | 1臺(tái) | | 3 | Q9連接線 | | 1根 | | 4 | 數(shù)據(jù)連接線 | | 1根 | | 5 | 電源線 | | 2根 | | 6 | 15線連接電纜 | | 1根 | | 7 | USB連接電纜 | | 1根 | | 8 | 二氧化硅膜樣片 | | 1張 | | ９ | 軟件安裝盤 | TP-TPY-2 | 1張 | | 10 | 使用說明書 | TP-TPY-2 | 1份 | | 11 | 裝箱單 | TP-TPY-2 | 1份 | | 12 | 產(chǎn)品合格證 | TP-TPY-2 | 1份 | |
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