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橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀
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產(chǎn)品型號(hào)：
 HAD-SGC-1A
產(chǎn)品名稱：
 橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀
產(chǎn)品報(bào)價(jià)：
產(chǎn)品特點(diǎn)：
 橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀
1
測(cè)量范圍
1nm-300nm
2
測(cè)量Z小值
≤1nm
3
入射角
30°～90°誤差≤0.1°
4
偏振器方位角讀數(shù)范圍
0°～180°
  HAD-SGC-1A橢圓偏振測(cè)厚儀 橢圓測(cè)厚儀 的詳細(xì)資料：

橢圓偏振測(cè)厚儀    橢圓測(cè)厚儀 型號(hào)：HAD-SGC-1A

指標(biāo)：

 

編號(hào)

名稱

參數(shù)

1

測(cè)量范圍

1nm-300nm

2

測(cè)量zui小值

≤1nm

3

入射角

30°～90°誤差≤0.1°

4

偏振器方位角讀數(shù)范圍

0°～180°

5

度盤刻度

每格2度

6

游標(biāo)zui小讀數(shù)

0.05°

7

光學(xué)中心高度

152mm

8

工作臺(tái)直徑

φ70mm

9

外形尺寸

730mm×230mm×290mm

10

主機(jī)重量

20kg

 

 

 

 

北京恒奧德科技有限公司  

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