熱式氣體質(zhì)量流量控制器 型號(hào);HA-S48 32/HMT 編號(hào) | 項(xiàng)目 | S48 32/HMT | 1 | 流量規(guī)格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min | 2 | 調(diào)節(jié)閥類型 | 電磁調(diào)節(jié)閥 | 3 | 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) | 常閉 | 4 | 安裝方向 | 任意 | 5 | 流量控制范圍 | 2%- | 6 | 流量測(cè)量范圍 | (0-100)% | 7 | 零點(diǎn)溫漂 | 0.6%F.S.(15~35℃) | 8 | 響應(yīng)時(shí)間 | 2s(T98,設(shè)定值的±2%F.S.) | 9 | 工作環(huán)境溫度 | 5~50℃ | 10 | 精度保證溫度 | 15~35℃ | 11 | 精度 | ±1.0%F.S | 12 | 線性 | ±0.5%F.S | 13 | 重復(fù)精度 | ±0.2%F.S | 14 | 工作壓差范圍 | ~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa | 15 | 耐壓 | 3MPa | 16 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He) | 17 | 管路接頭 | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm | 18 | 供電電源 | ±15VDC(±5%) +15V,100mA;-15V, 200mA | 19 | 設(shè)定信號(hào) | (0-5)VDC 輸入阻抗>1MΩ | 20 | 流量輸出信號(hào) | (0-5)VDC 負(fù)載輸出電流能力≤3mA | 21 | 電氣接頭 | D-SUB15 | 22 | 尺寸 (mm) | 113(寬)×121(高)×32(厚) |
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