四探針電阻率測試儀/四探針電阻率儀/方阻測試儀/方阻儀/四探針電阻率測定儀 型號:KDK-KDY-1 四探針電阻率/方阻測試儀(以下簡稱電阻率測試儀)是用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機(jī))、測試架及四探針頭組成。 本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表,在測量電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全程的電流變化,免除了測量電流/測量電阻率的轉(zhuǎn)換,更及時掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源,使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān),在測量某些箔層材料時,可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生,地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的產(chǎn)品:“小游移四探針頭”,探針游移率在0.1~0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)如加配HQ-710E數(shù)據(jù)處理器,測量硅片時可自動進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正,并計(jì)算、打印出硅片電阻率、徑向電阻率的zui大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均習(xí)庋。給測量帶來很大方便。 2、主機(jī)能數(shù) (1)測量范圍: 可測電阻率:0.0001~19000Ω•cm 可測方塊電阻:0.001~1900Ω•□ (2)恒流源: 輸出電流:DC 0.001~100mA 五檔連續(xù)可調(diào) 量程:0.001~0.01mA 0.01~0.10mA 0.10~1.0mA 1.0~10mA 10~100mA 恒流精度:各檔均低于±0.05% (3)直流數(shù)字電壓表: 測量范圍:0~199.99mV 靈敏度:10μV 基本誤差:±(0.004%讀數(shù)+0.01%滿度) 輸出電源:≥1000ΩM (4)供電電源: AC 220V±10% 50/60 Hz 功率:12W (5)使用環(huán)境: 溫度:23±2℃ 相對濕度:≤65% 無較強(qiáng)的電場干擾,無強(qiáng)光直接照射 (6)重量、體積: 主機(jī)重量:7.5kg 體積:365×380×160(單位:mm 長度×寬度×高度)
備注: 等級測量時(測電阻率),精度<3% 電氣測量時(測電阻),精度在0.3%以內(nèi)
備注: 儀器包括:主機(jī)一臺;測試架(包括臺面)一個;四探針頭1個 北京恒奧德科技有限公司 電 話:/51666869/ 傳 真: 手 機(jī):/ :2820129828/1575574360/1321298635/1445496132 網(wǎng) 址:www.hengaodebj。。com www.54pc。。com/netshow/ZT11690 www.bjhadkj。。com www.hadkj88。。cn.alibaba.com 地 址:北京北洼路90號院16號樓317室(北京市地質(zhì)工程勘察院院內(nèi)) |